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  显微镜用途广泛,它把一个全新的世界展现在人类的视野里,下面小编为大家介绍查看12纳米电路需要多少倍显微镜?光学显微镜能看到吗?   查看12纳米电路需要用多少倍显微镜?
  考虑衍射极限,即由于衍射的限制,不可能得到理想像点,而是得到一个夫朗和费衍射像,所导致的分辨率极限:
  sinθ=1.22λ/D
  其中θ是角分辨率,λ是波长,D是光圈直径。由公式可以轻易看出,最终的分辨率和光的波长在一个量级。对于光学显微镜,一般在可见光波段工作,波长为400nm ~ 700nm。这时,其分辨率就几乎不可能达到200nm以下,也就不可能看清楚12nm的电路。
  因此,我们需要一个波长非常短的波,以达到更好的分辨率。这时候,就考虑到了电子,和其由波粒二象性产生的物质波。
  由物质波公式:
  λ=h/p; f=ε/h
  只要动量足够大,就可以轻易地获得波长足够短的电子。当加速电压为50~100kV时,电子束波长约为0.0053~0.0037nm,这一数值已经远远小于一般电磁波的波长。在这一加速电压下,优秀的电子显微镜可以轻易地达到0.3nm甚至更好的分辨率。
  因此,通常不会使用光学显微镜来看芯片中的电路,因为根本看不清。取而代之的是,扫描电子显微镜(scanning electron microscopic)。扫描电子显微镜的电子束不穿过样品,仅以电子束尽量聚焦在样本的一小块地方,然后一行一行地扫描样本。入射的电子导致样本表面被激发出次级电子。显微镜观察的是这些每个点散射出来的电子,放在样品旁的闪烁晶体接收这些次级电子,通过放大后调制显像管的电子束强度,从而改变显像管荧光屏上的亮度。
  由于好的电子显微镜可以轻易地达到超过芯片制程很多的分辨率,因此拿来看芯片是很容易的。

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